| 用于电子冷冻显微镜检查的系统和方法 |
| WOEP20078515 2020-10-9 发明申请 |
| 2021-4-15 |
| 一种用于电子冷冻显微镜检查的系统和相应方法，包括：用于产生电子束的场发射枪，在使用中，场发射枪被激励以产生80keV-120keV电子束，该电子束被发射到真空外壳中并朝向样品架； 所述真空罩至少部分地包含：物镜，用于聚焦所述样品的图像，所述物镜设置在所述电子束的路径中，并且具有色差系数CC，所述色差系数CC被选择为获得比所需量更好的分辨率值； 用于保持样品的样品保持器，样品保持器设置在电子束的路径中； 用于冷却样品的低温台； 用于包围样品并降低样品的冰污染率的低温防护罩； 以及包括像素阵列的直接电子检测器，每个像素能够检测通过样品并撞击该像素的入射电子。 |
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