| 离子源负极板 |
| CN202311522904.6 2023-11-15 发明申请 |
| 2024-3-12 |
| 本发明公开了离子源负极板,涉及质谱仪构件的技术领域,其包括包括离子源,离子源设有真空腔室,真空腔室设有激光器,激光器与真空腔室垂直设置,真空腔室开设有便于激光穿过的通孔,通孔处设有用于密封的透光片,负极板位于真空腔室的上端部,真空腔室内设有反光件,并且真空腔室设有用于对反光件进行支撑的定位件,反光件用于将激光器的激光反射到负极板上,定位件下端部设有用于调节反光件反射角度的驱动件,真空腔室内还设有用于进一步清理负极板的清理组件。本申请具有提高清理负极板时的便利性的效果。 |