| 六氟化硫电气设备中高压气体微型质谱分析进样系统 |
| CN201710749986.6 2017-8-28 发明申请 |
| 2018-1-26 |
| 本发明公开了一种六氟化硫电气设备中高压气体微型质谱分析进样系统及针对高压气体的进样方法。该系统包括有减压稳压阀和脉冲阀；减压稳压阀的出气口与脉冲阀的进气口连接；使用时，减压稳压阀的进气口直接与高压容器连接，脉冲阀的出气口与质谱仪的进样口连接。质谱进样量的大小可以通过改变脉冲阀的脉宽和频率进行调节。首先调节减压稳压阀，将高压气体降低至设定的气压值，之后再打开脉冲阀，再将样品引入至进气端。本发明通过调节脉冲阀的频率和脉宽可以改变进样量的大小，高压脉冲阀可以实现小体积管路中高压气体直接进样。本发明提出的针对高压气体样品的进样方法可以同时实现连续进样分析，实验的重复性好。 |
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