| 一种气体中颗粒杂质的检测装置及检测方法 |
| CN202311081787.4 2023-8-25 发明申请 |
| 2023-11-17 |
| 本发明公开了一种气体中颗粒杂质的检测装置，包括：颗粒杂质前处理模块、气体交换模块、气体进样管路和检测模块；所述颗粒杂质前处理模块包括激光发射器、扫描聚焦模块和高透激光剥蚀管；所述气体交换模块包括气体交换膜管。本发明另一方面公开了一种气体中颗粒杂质的检测方法，包括：S1：激光剥蚀；S2：气体交换；S3：质谱检测；步骤S1和S2在线完成。本发明将待测气体的气体成分交换为吹扫气(如氩气)的成分，气体直接进样，不会额外引入其他污染，对分析造成干扰，分析效率更高；并且将待测颗粒杂质转化为粒度均匀的纳米颗粒气溶胶，大大减少颗粒杂质在气体交换模块的损失，ICP?MS检测信号更稳定，检出限更低。 |
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