| 一种用于激光解吸质谱仪的靶材 |
| WOEP22069395 2022-7-12 发明申请 |
| 2023-1-19 |
| 公开了一种用于激光解吸质谱仪的靶(110)。 靶(110)具有至少一个表面(112)。 其中所述表面(112)至少部分地覆盖有至少一个层(114)，其中所述层(114)是包含氢、掺硅的无定形碳(a-C : H : Si)的层(116)，其中所述a-C : H : Si层(116)包含：·40at.%至80at.%的碳； ·1at.%至20at.%的氢； 以及·10at.%至40at.%的硅。 |
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