| 质谱仪和质谱分析方法 |
| WOJP20044929 2020-12-2 发明申请 |
| 2021-8-12 |
| 在质谱仪中,由于杂质积聚在框架内,耐压可能降低,并且在离子源中可能发生放电,从而使得不可能执行正常测量。 由于由于放电引起的异常测量结果不能与由预处理部分和针之间的管阻塞引起的测量异常区分开,因此存在需要时间来识别异常部分的问题,并且降低了维护性能。 作为解决该问题的手段,本发明包括:返回电流检测单元,串联连接在框架和向针施加电压的离子源电源之间; 以及返回电流检测单元,串联连接在框架和向对电极施加电压的对电极电源之间。 通过将由返回电流检测单元测量的电流与预定阈值进行比较,检测放电的发生和放电发生的位置。 |