| 利用微电子系统中的化学检测来识别预测性故障的质谱法 |
| US18270335 2021-12-22 发明申请 |
| 2024-2-22 |
| 本发明总体上涉及用于分析电子仪器的操作状态的系统和方法。 在某些实施例中，本发明提供了系统，其包括取样模块，所述取样模块以所述取样模块接收从所述电子仪器发射的蒸气的方式可操作地耦合到所述电子仪器，所述取样模块包括电离源和一个或多个质量分析器，从而产生所述蒸气中的一种或多种分析物的化学特征； 以及分析模块，所述分析模块可操作地耦合到所述取样模块，以接收所述蒸气中的所述一种或多种分析物的所述化学特征，并且将所接收的化学特征与已知化学特征的数据库进行比较，从而确定所述电子仪器的操作状态。 |
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