| 使用质谱法的自由基的检测方法 |
| KR1020237045427 2022-5-31 发明申请 |
| 2024-2-19 |
| 提供了一种用于检测半导体制造组件中的工艺气体中的自由基的方法，其中半导体制造组件包括等离子体源和具有离子源的质谱仪。 该方法包括将离子与工艺气体分离并且确定测量工艺气体的固定电子能量。 连续地对半导体制造组件中的工艺气体进行采样。 使用所述质谱仪在所述电子能量处对所述采样的工艺气体执行第一测量，其中在所述等离子体源关闭的情况下执行所述第一测量。 使用所述质谱仪在所述固定电子能量处执行所述采样的工艺气体的第二测量，其中在所述等离子体源开启的情况下执行所述第二测量。 被采样的工艺气体中存在的自由基的量被确定为第二测量值与第一测量值之间的差。 |
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