| 沟道电子倍增器和离子检测器 |
| US17332276 2021-5-27 发明申请 |
| 2022-1-20 |
| 一个实施例的CEM和离子检测器具有能够以比现有技术更高的灵敏度进行离子检测的结构。 一种沟道电子倍增器，包括沟道体，输入侧导电层，输出侧导电层和电极。 沟道体包括沟道和形成在沟道内壁表面上的电阻层和电子发射层。 输入侧导电层设置于通道本体上，且输入侧导电层的一部分延伸至锥形开口内。 输出侧导电层设置在锥形开口上。 电极具有带电粒子通过的开口，并且被设置在输出端面与输入端面的相对侧上。 将电极和输入侧导电层设置为相同的电位，以消除锥形开口中的外部电场的影响。 |
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