| 质谱仪及其控制方法 |
| WOJP20028373 2020-7-22 发明申请 |
| 2021-2-4 |
| 本发明提供一种能够更充分地维持真空室内的压力的质谱仪及其控制方法。 根据本发明的质谱仪包括：第一真空室101, 201, 301, 401, 501； 第一真空泵106, 203, 303, 403, 503； 大气压相关值获取装置； 调节第一真空泵106, 203, 303, 403, 503的有效排气速率的调节装置； 以及控制器111, 206, 306, 406, 506。 控制器111, 206, 306, 406, 506根据大气压力相关值控制调节装置。 |
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