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质量和/或迁移率光谱仪抽真空管路

GB2108988 2021-6-23 发明申请

2021-8-4

提供一种质谱仪和/或迁移谱仪(200)，其包含：真空壳体(210)，其在其中具有第一真空室(212)；以及通过导管(216)连接到所述第一真空室(212)的第一真空泵；其中，所述管道(216)的至少一部分在所述真空壳体(210)的壁内沿着所述真空壳体(210)延伸。