| 等离子体-质谱分析系统及其工作方法 |
| CN201711490627.X 2017-12-30 发明申请 |
| 2018-6-12 |
| 本发明提供了一种等离子体?质谱分析系统及其工作方法，所述等离子体?质谱分析系统包括质谱分析仪、真空单元；矩管，所述矩管的出口竖直向上；取样锥，所述取样锥设置在所述矩管的离子出射方向上；第一阀门，所述第一阀门设置在所述离子出射方向上，且处于所述取样锥的下游；离子偏转单元，所述粒子偏转单元设置在离子出射方向上，且处于第一阀门的下游，经过所述离子偏转单元后，离子偏转角度α；第二阀门，所述第二阀门设置在经过所述离子偏转单元偏转后的离子方向上。本发明具有检测精度高等优点。 |
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