扫描探针显微镜及扫描探针显微镜的位置调整方法
 
US16995416  2020-8-17  发明申请

2021-4-8
 
  激光束调节单元调节施加到悬臂的激光束。 假定在测量样品的性质期间当悬臂位移时激光束的光斑在光接收表面上的位移方向被定义为第一方向, 并且在光接收表面上与第一方向正交的方向被定义为第二方向, 所述激光束调节单元调节所述激光束,使得在调节检测单元的位置期间,所述激光束在第二方向上的光斑的长度大于在第一方向上的光斑的长度。 测量样品的性质。
 
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