| 一种样品表面超痕量杂质的激光剥蚀质谱的检测方法及检测装置 |
| CN202311481210.2 2023-11-8 发明申请 |
| 2024-2-2 |
| 本发明公开了一种样品表面超痕量杂质的激光剥蚀质谱的检测方法及检测装置，所述检测方法包括：准备标样；送入样品池；预设总剥蚀次数为N，标样剥蚀次数之和为N0，N0≥100，N≥KN0，K≥2；对待测样品进行飞秒激光剥蚀质谱检测；进行混合激光剥蚀，匀化后质谱检测；获取加标检测曲线；计算待测元素含量。本发明可以省去复杂的样品前处理过程，极大缩短了分析时间，减少了前处理过程中引入的污染对分析结果的影响，并且通过超大批量的激光剥蚀和匀化实现对待测样品的在气溶胶体系中高稀释倍率的精确加标，从而可以使用较易获取的标样即可实现对半导体等高纯度样品表面的超痕量杂质的定量检测。 |
微信公众号