| 用于输送带电粒子的轴向渐进透镜 |
| US17631393 2020-7-16 发明申请 |
| 2022-10-20 |
| 一种用于沿轴向输送带电粒子的静电透镜，包括：第一组第一电极，其被配置为从直流电压源接收第一直流电势； 以及第二组第二电极，其被配置为从所述直流电压源接收不同于所述第一直流电压的第二直流电压。 第一电极与第二电极交叉。 第一组和/或第二组具有沿轴向逐渐变化的几何特征。 透镜产生沿轴向逐渐变化的轴向电势分布，从而减小几何像差。 透镜可以是带电粒子处理设备的一部分，例如质谱仪或电子显微镜。 |
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