| 一种三维激光剥蚀质谱仪、联用检测系统及检测方法 |
| CN202310679935.6 2023-6-9 发明申请 |
| 2023-9-19 |
| 本发明公开了一种三维激光剥蚀质谱仪、联用检测系统及检测方法，所述三维激光剥蚀质谱仪包括激光剥蚀系统、检测池、磨抛系统和质谱检测装置；所述联用检测系统包括：上述三维激光剥蚀质谱仪和拉曼激光系统，所述检测方法包括对样品检测后进行样品表面磨抛。本发明通过引入机械磨抛，去除了样品表面由于激光剥蚀而产生的热变层，一方面利用了激光剥蚀的高效性，另一方面也消除了激光剥蚀的聚焦点的能量对检测可能产生的影响。 |
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