| 利用机器学习从原始图像自动选择高品质平均扫描电镜图像 |
| CN201980053456.5 2019-7-26 发明申请 |
| 2021-4-2 |
| 一种用于评估印制图案的图像的方法由至少一个可编程处理器实施。所述方法包括获得(2310, 2320)所述印制图案的第一平均图像,其中所述第一平均图像是通过对所述印制图案的原始图像进行平均化而生成的。所述方法也包括识别(2330)第一平均图像的一个或更多个特征。所述方法还包括由所述可编程处理器执行图像品质分级模型并且至少基于所述一个或更多个特征来评估(2340)所述第一平均图像。所述评估包括由所述图像品质分级模型来确定(2350)所述第一平均图像是否满足指标。 |