| 原子力显微镜探针的制造 |
| WOIB19058268 2019-9-29 发明申请 |
| 2021-4-1 |
| 原子力显微镜探针可以通过在衬底的背面上形成手柄层， 其中衬底可以包括具有生长在硅晶片正面上的第一前氧化硅层和生长在硅晶片背面上的第一后氧化硅层的硅晶片。 衬底还可以包括沉积在第一前氧化硅层上的前硝酸硅层和沉积在第一后氧化硅层上的后氮化硅层。 原子力显微镜探针可通过进一步在衬底的前侧上形成AFM尖端，并形成与AFM尖端集成的AFM悬臂来制造。 形成AFM悬臂可包括在衬底的前侧上生长第二前氧化硅层， 覆盖正面和形成的AFM尖端的第二正面氧化硅层， 在衬底上生长第二背面氧化硅层， 第二背面氧化硅层覆盖手柄层的下表面， 通过光刻方法将AFM悬臂的图案转移到衬底的前侧，利用AFM悬臂的图案蚀刻第二前氧化硅层，以及从前侧蚀刻硅晶片以形成AFM悬臂。 |
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