| 用于检验样品的显微镜和相应的方法 |
| EP19200211 2019-9-27 发明申请 |
| 2021-3-31 |
| 本发明涉及一种用于检查样品(114)的显微镜(100)， 所述显微镜包括：成像光学器件(140)，用于对至少一部分待测样品成像； 所述成像光学器件限定光轴(150)， 透光照明模块(130)， 所述模块包括透射光源(132)和用于产生透射光束路径(136)的透射光学器件(134)， 以及适于偏转透射光束路径的偏转元件(220)， 其中偏转元件(220)被构造成至少被放置在第一和第二位置(A，B)， 其中在第一位置(A)， 偏转元件(220)布置在光轴(150)上，使得透射光束路径(136)偏转到光轴(150)上并与光轴(150)对准，并且在第二位置(B)中，偏转元件(220)布置在光轴的外侧。 |
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