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用于试剂气体系统的改进纯度的循环定时器

US18335929 2023-6-15 发明申请

2024-1-11

系统，所述系统包括气体源，所述气体源耦合到具有供应管线的质谱仪以提供用于化学电离的试剂气体；旁通管路，其将所述供给管路连接至真空泵的前级管路，所述旁通管路包括阀和旁通限流器；以及循环定时器，所述循环定时器可操作以打开所述阀达第一时间段并关闭所述阀达第二时间段。