一种静电离子阱及其制作方法与质谱仪
 
CN202310024914.0  2023-1-9  发明申请

2023-4-18
 
  本发明公开了一种静电离子阱及其制作方法与质谱仪,属于质谱仪器技术领域。该静电离子阱包括对称装配的第一静电离子阱层和第二静电离子阱层;第一静电离子阱层和第二静电离子阱层均包括绝缘材质圆盘、多个电极以及引线;绝缘材质圆盘具有多个同心槽,相邻两个同心槽之间形成同心环状突起,每个同心环状突起表面均设有金属膜以形成单个电极,引线设置于绝缘材质圆盘的表面或内部以用于对电极施加电压。该静电离子阱适用于超高真空和高电压等环境,热稳定性高,分辨率高,检测结果准确度高。其制作方法简单,具有较高的精度,并能降低加工残留物,提高产品的稳定性。具有上述静电离子阱的质谱仪具有较佳的应用前景。
 
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