| 一种半导体检测用光学显微镜 |
| CN202021805256.7 2020-8-26 实用新型 |
| 2021-3-30 |
| 本实用新型提供一种半导体检测用光学显微镜，包括底座结构；所述底座结构的前端处安装有调节结构，且调节结构上设置有平衡结构；所述平衡结构上设有观测台结构；所述底座结构上处安装有防护结构；所述底座结构包括立柱，所述固定座中间位置设置有立柱，且立柱横截面为矩形形状，调节台直接套接在垂直的立柱上，调节台末端处套接有电子显微镜，被检测的半导体属于较为精密的工件，在将工件夹紧时，所接触端不能够对工件造成损伤，从而将夹具处安装的压块设为橡胶接触面，实现保护工件的目的，同时夹具与压块之间为相互卡接且能够任意拆卸，使得夹具能够根据不同的情况安装不同形状的压块。 |
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