| 隔膜泵保护电路及质谱仪 |
| CN202322068200.8 2023-8-1 实用新型 |
| 2024-1-5 |
| 本实用新型提出一种隔膜泵保护电路及质谱仪，该隔膜泵保护电路包括：采集模块、比较模块以及隔膜泵转速调节模块；采集模块用于采集涡轮分子泵的转速值，并将生成的涡轮分子泵转速信号传输至比较模块；比较模块用于在涡轮分子泵转速信号对应的电压值大于预设电压阈值时，将产生的比较信号传输至隔膜泵转速调节模块，以使隔膜泵转速调节模块调节隔膜泵的转速。由于本实用新型通过采集模块采集涡轮分子泵的转速值，并生成涡轮分子泵转速信号，再通过比较模块判断转速值对应的电压值是否大于预设电压阈值，若是则通过隔膜泵转速调节模块调节隔膜泵的转速，进而可确保涡轮分子泵在转速较高时降低隔膜泵转速来减少产生的热量，提升使用寿命。 |
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