| 四极质谱仪及残余气体分析方法 |
| WOJP21037836 2021-10-13 发明申请 |
| 2022-6-16 |
| 本发明用于在四极质谱仪中减小由变压器引起的温度影响。 本发明包括：电离单元(21)，用于电离样品； 四极单元(23)，其具有选择性地使由所述电离单元(21)产生的离子通过的两组对电极(23P)； 电压施加单元(32)，用于向两组对电极(23P)中的每一组对电极施加通过叠加直流电压U和高频电压Vcos ω t而获得的电压； 以及离子检测单元(24)，用于检测已经通过四极单元(23)的离子。 电压施加部(32)具有对高频电压Vcos ω t进行变换的变压器(4)。 所述变压器(4)由初级绕组(42)和次级绕组(43)绕在环形铁芯(41)上形成。 初级绕组(42)由板状的金属导体形成。 |
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