一种用于离子源型质谱仪的靶板定位机构
 
CN202311276580.2  2023-10-4  发明申请

2023-12-26
 
  本申请涉及质谱仪靶板定位的技术领域,尤其是涉及一种用于离子源型质谱仪的靶板定位机构,包括安装板,所述安装板的底部中间固定安装有第一电机,所述第一电机的顶部输出端贯穿安装板固定安装有顶盘。本申请能够通过设置两组定位工装,设备检测期间位于外侧的定位工装刚好空置,便可将靶板从位于外侧的定位工装内部拆除更换新的靶板,采用烘干设备对靶板进行烘干,靶板安装完成后位于设备内部的靶板检测完毕,此时启动第一电机带动转盘再次转动,便可将检测完成的靶板移出设备,而之前更换的靶板刚好重新移送到设备的内部,可节省烘干靶板所需的时间,使得本靶板定位机构进行不间断的连续化检测,提高了本靶板定位机构的检测效率。
 
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