| 用三级涡轮分子泵和增压泵进行质谱检漏的装置 |
| DE102020132896 2020-12-10 发明申请 |
| 2022-6-15 |
| 一种用于测试试样上的泄漏检测的装置，包括质谱仪(12)，至少三级的涡轮分子泵(14)，其输入级(18)与质谱仪(12)连接并且其具有布置在输入泵级与中间泵级(26)之间的第一中间气体入口和布置在中间泵级(26)与输出泵级(24)之间的第二中间气体入口，至少二级的增压泵， 其输入泵级(46)能够连接到待检查的测试样本并且其具有布置在输入泵级(46)和输出泵级(48)之间的中间气体出口(54)以及预真空泵(22)，所述预真空泵连接到涡轮分子泵(14)的输出泵级(24)的出口(20)并且被构造成在涡轮分子泵(14)的出口(20)处产生小于50mbar的预真空压力并且抵抗大气压力将其抽真空， 其特征在于，所述增压泵的中间气体出口(54)经由第一连接支路(62)以气体传导的方式连接至所述涡轮分子泵(14)的第一中间气体入口(36)，并且在于，所述增压泵的输出泵级(48)的出口经由第二连接支路(64)以气体传导的方式连接至所述涡轮分子泵(14)的第二中间气体入口。 |
微信公众号