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质谱仪
US17345080 2021-6-11 发明申请
2022-3-17
一种质谱仪,包括真空室,涡轮分子泵和粗化泵。 真空室被分成低真空室和高真空室,低真空室和高真空室的壁面上分别设有第一开口和第二开口。 涡轮分子泵具有操作室和排气室,操作室在其内部包括叶片转子并且设置有第一进气口,排气室与操作室连通并且设置有第二进气口和排气口。 涡轮分子泵布置成使得高真空室和操作室通过第二开口和第一吸入口彼此连通, 低真空室和排气室通过第一开口和第二进气口彼此连通。 粗化泵连接到排气口。
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