| 一种质谱芯片 |
| CN202311231638.1 2023-9-22 发明申请 |
| 2023-12-8 |
| 本发明涉及一种质谱芯片，包括两个相互平行的质谱芯片平面和电极组单元。质谱芯片平面为完整平面。电极组单元包括第一电极组和第二电极组至少两个电极组；第一电极组包括至少两个分离电极对；分离电极对由分别设置在两个相互平行的质谱芯片平面上的两个分离电极组成；通过在至少一个分离电极对上施加射频电压后，在两个质谱芯片平面之间的特定区域内形成四极电场，用于束缚和分离离子；第二电极组用于检测离子，其包括至少一个检测电极对；检测电极对由分别设置在两个相互平行的质谱芯片平面上的两个检测电极组成。本发明提高了离子光学系统的集成度，高度兼容MEMS工艺，易于实现高精度、批量化的平行制造，降低成本，推动质谱仪器整机的小型化。 |
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