| 高压模块及使用该高压模块的质谱仪 |
| WOJP21048898 2021-12-28 发明申请 |
| 2022-8-4 |
| 一种高压模块(HVMD)，包括：误差放大器(5)，用于基于参考信号(Vin)和反馈信号(4)输出控制信号(6)； 高压输出电路(7)，根据控制信号(6)输出供给的高压(Vout)； 以及反馈电路(10)，用于基于所提供的高电压(Vout)输出反馈信号(4)。 在此，反馈电路(10)具备：输入所供给的高电压(Vout)，输出中间信号(11)，由电阻元件构成的第1部分电路(8)； 以及第二部分电路(9)，中间信号(11)被输入到第二部分电路(9)中，并且第二部分电路输出反馈信号。 此外，高压模块(HVMD)包括基板(SUB)，基板(SUB)具有：高压基板区域(2)，高压输出电路(7)和第一部分电路的一部分安装在高压基板区域中； 以及低压基板区域(3)，其中安装误差放大器(5)和第二部分电路(9)，其中第二部分电路(9)具有与反馈电路的环路增益相关的电阻元件和电容元件。 |
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