| 一种基于介质阻挡等离子放电反应探测中间产物的原位光电离质谱装置 |
| CN202311123944.3 2023-8-31 发明申请 |
| 2023-12-5 |
| 本发明涉及一种基于介质阻挡等离子放电反应探测中间产物的原位光电离质谱装置，包括介质阻挡等离子体放电装置、分子束取样装置、差分电离室、质谱及真空紫外光；介质阻挡等离子体放电装置包括反应腔、射频高压金属棒及异型石英管，异型石英管为半双层结构，包括内管及与内管部分重叠的外管，内管及外管之间设有螺纹接地铜丝；分子束取样装置包括同轴设置的石英喷嘴和漏勺，漏勺基座内部设有左偏转电极及右偏转电极。由上述技术方案可知，本发明利用真空紫外光电离质谱技术，构造介质阻挡等离子放电反应中间产物原位探测装置，原位探测等离子体放电过程中产物信息，从而对研究介质等离子体放电化学反应过程中等离子体放电机理具有重要意义。 |
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