| 一种用于材料表面纳米尺度分析的多功能离子源装置 |
| CN202223245803.2 2022-12-5 实用新型 |
| 2023-12-1 |
| 本实用新型属于材料表面检测技术领域，公开了一种用于材料表面纳米尺度分析的多功能离子源装置，试验台固定在超高真空腔内，内部固定有离子源发生装置、质谱分析仪和调节装置，离子源发生装置和质谱分析仪通过调节装置固定在试验台上端，质谱分析仪固定在试验台正上方，试验台中间固定有样品。离子源发生装置设有潘宁气体离子源发生器、Cs+离子源发生器和气体团簇离子源发生器，气体团簇离子源发生器固定在样品左侧，潘宁气体离子源发生器固定在样品右侧，结构简单，效果明显，通过离子源发生装置能实现半导体超浅P?N结以及纳米复合多层结构薄膜的深度剖面分析。 |
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