| 扫描电子显微镜和扫描电子显微镜二次电子检测方法2 |
| JP2019171588 2019-9-20 发明申请 |
| 2021-3-25 |
| [A]第一偏转装置1， 首先，偏转装置减少了由于取消偏转装置而产生的第一偏转像差，检测在样品表面产生的二次电子的高空间分辨率扫描电子显微镜和扫描型电子显微镜二次电子检测方法。 [解决方案]由照射系统11，14和1个使二次电子偏转的第二偏转装置产生的二次电子， 偏转装置使向相反方向偏转的二次电子偏转，以消除像差， 与成像系统的轴线重合的样品可以被照射， 从样品21向相反方向发射的二次电子分离二次电子偏转器， 5和由偏转装置2产生的第二磁场， 偏转第一成像系统的偏转装置在照射样品1之后与轴2重合，挤压二次电子， 从样品2发射的二次电子入射到物镜2上由一个和一个第二偏转装置5组成，二次电子在二次电子偏转装置5之后偏转一次电子-电子检测器包括一个检测器。 图2[图] |
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