| 多柱扫描电镜系统 |
| US17099476 2020-11-16 发明申请 |
| 2021-3-25 |
| 一种多柱扫描电子显微镜(SEM)系统，包括柱组件，其中柱组件包括第一基板阵列组件和至少第二基板阵列组件。 该系统还包括源组件， 该光源组件包括两个或更多个照明光源和两组或更多组多个定位器，所述两个或更多个照明光源被配置为产生两个或更多个电子束，所述两组或更多组多个定位器被配置为在多个方向上调节所述两个或更多个照明光源中的特定照明光源的位置。 该系统还包括构造成固定样品的台，其中柱组件将两个或多个电子束的至少一部分引导到样品的一部分上。 |
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