| 质谱仪检测器和使用该质谱仪检测器的系统和方法 |
| US17531674 2021-11-19 发明申请 |
| 2022-7-14 |
| 一种用于二次离子质谱仪的离子检测器，该检测器具有电子发射板，该电子发射板耦合到第一电势并被配置为在离子入射时发射电子； 耦合到不同于第一电位的第二电位的闪烁体，该闪烁体具有面向电子发射板的前侧和后侧，该闪烁体被配置为在电子入射到前侧时从后侧发射光子； 光导，其耦合到闪烁体的背面并限制从闪烁体的背面发射的光子的流动； 以及固态光电倍增管，其耦合到所述光导并且具有被配置为输出与来自所述光导的光子的入射相对应的电信号的输出。 一种SIMS系统，包括多个这样的检测器，所述检测器可移动地布置在质量分析器的焦平面上。 |
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