| 一种小型化的激光剥蚀系统及样品池模块 |
| CN202311021304.1 2023-8-15 发明申请 |
| 2023-11-14 |
| 本发明公开了一种小型化的激光剥蚀系统，包括激光剥蚀模块和样品池模块；所述样品池模块通过固定环与激光剥蚀模块固定连接；所述激光剥蚀模块包括依次连接的激光发射器、振镜模块和样品镜头；所述样品池模块包括样品池壳体、进气口、出气口和窗片；所述进气口和出气口设置在样品池壳体上；所述样品池壳体的下端具有开口，所述样品池壳体的下端边缘设置有弹性密封圈，所述弹性密封圈用于将样品池壳体的下端与接触面形成密封连接。本发明通过样品池壳体的下端与接触面形成密封连接，仅需要剥蚀区域的样品表面平整光滑，简化了繁琐的前处理切割打磨步骤，大大避免了外来的污染影响检测质量，同时可用于实现便携式激光剥蚀质谱检测。 |
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