| 一种模块化快拆组合式扫描探针显微镜 |
| CN202011399079.1 2020-12-4 发明申请 |
| 2021-3-23 |
| 本发明公开了一种模块化快拆组合式扫描探针显微镜，包括马达模块、扫描头模块和样品模块，各模块均设有结构统一的导轨，并通过导轨实现三部分模块快速连接和拆卸。本发明设计为三段模块化结构，形成可以共用马达、快速更换扫描头和样品的模块化显微镜，原来需要购买多款显微镜才能实现的观测效果，可以通过更换扫描头和样品快速实现。这样既可以大大扩展原来单个显微镜的应用领域，实现扫描探针显微镜家族的模块化组合，也可以显著降低显微镜的成本，还可以节约不同显微镜来回切换所消耗的准备时间。 |
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