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质谱仪及其真空系统的建立方法

US18139446 2023-4-26 发明申请

2023-11-2

本发明提供了一种质谱仪及其真空系统的建立方法，所述质谱仪具有仅通过真空接口与外部环境连通的密封腔室，所述腔室包括第一腔室和第二腔室，所述第二腔室内设置有吸附泵，所述第一腔室与所述第二腔室通过限流结构连通。本方案可应用于台式甚至便携式质谱仪，考虑到此类质谱仪的低能耗、小型化和真空要求。