| 质量分析装置 |
| CN202310302863.3 2023-3-27 发明申请 |
| 2023-10-27 |
| 本发明的质量分析装置具备:检测器(3),根据与检测器电压相对应的增益,与入射的离子相对应而生成电流脉冲信号;电压产生部(6),对检测器提供检测器电压;分支部(41),将基于从检测器的阳极(30)取出的电流脉冲信号的电压脉冲信号分支为多个;脉冲计数部(43,45),将该信号的一方以脉冲计数方式检测;模拟检测部(42,44),将信号的另一方以模拟检测方式检测;换算信息存储部(461),保持有示出测量执行时的检测器电压下的、计数值为非饱和状态的规定的计数值与此时的模拟检测值的对应关系的换算信息;换算计数值计算部(462,463),在计数值或模拟检测值的任一个比规定值大时,使用此时的模拟检测值与换算信息计算出换算计数值。 |