电子显微镜和电子显微镜方法
 
JP2019164661  2019-9-10  发明申请

2021-3-18
 
  [问题]更换由电镜中的灯丝引起的变化的探针电流控制方法。 [解决方案]一种枪的固定偏置电阻自偏置系统, 以及电子控制方法用电子显微镜光学系统照射的试样, 流经电源的负载电流的电流值提供加速电压的加速电压获取过程, 所述负载电流值,其中确定所述电子枪的灯丝高度的步骤,基于所述灯丝高度,光学系统的工艺条件,包括,电镜方法。 图2[图]
 
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