| 离子检测用收集器 |
| GB2205915 2022-4-22 发明申请 |
| 2023-10-25 |
| 形成用于离子检测器的收集器118的电极，所述检测器基于离子到收集器的行进时间来检测离子，所述收集器包括：内部收集区130，和外部收集区132，其中所述外部区与所述内部区电隔离； 用于将内部区域连接到检测电子器件140的第一电连接134和用于将外部区域连接到检测电子器件的第二电连接136; 其中所述内部区域和外部区域各自收集离子并响应于所述离子到达所述收集器而向所述检测电子装置提供检测信号。 可以提供与内区和外区电隔离的另外的集电极区145(图2)。 内部区域的中心可以与朝向收集器行进的离子分布的中心对准。 控制器120可以调整检测到的信号的灵敏度和分辨率，并且可以选择仅从内部区域或外部区域中的一个或两者获得信号。 |
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