质谱仪
 
JP2022066628  2022-4-13  发明申请

2023-10-25
 
  要解决的问题:提供一种即使在真空室的壁面变形的情况下,也能够抑制应力施加于配置在真空室内的质量分离单元的整体或一部分,抑制质量分辨率的降低的质谱仪。 解决方案:一种包括真空室CH和设置在真空室内的质量分离装置UN的质谱仪,包括形成在真空室CH的内表面上的多个台阶部6、6’、放置在台阶部上并且布置成跨越台阶部之间的基部FP,并且质量分离装置UN的全部或部分由固定到基部FP的支撑装置SP支撑。 选图:图4版权:(C)2024, JPO&INPIT
 
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