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判定半导体结构的检测系统和检测方法

TW108121314 2019-6-19 发明申请

2020-1-1

本发明揭示一种用来判定半导体结构的检测系统(1)。该检测系统具有一离子束源(2)，用于要用一离子束(3)判定该等结构的空间解析答案。进一步，提供包括一质谱仪(13)的二次离子侦测装置(12)。该质谱仪(13)可测量已知频宽内的一离子质荷比。