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电子显微镜
JP2020512112 2018-4-2 发明申请
2021-3-18
(1)电子枪,照射电子束,具有照相机的闪烁器,通过使透射图像成像来检测由电子束照射从样品产生的信号。 电流读数为终端, 对于闪烁体的测量信号的电流值,计算电子密度(483),测量电流值,基于闪烁体的面积计算电子密度,输出控制部(485)均,使用输出控制信息计算电子密度。 这样,电子显微镜,照相机的信号对闪烁体的测量电流值,该电流值,由于电子密度是基于闪烁体的面积计算的,所以可以计算出样品的指定信息的影响。
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