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超分辨全息显微镜
US16848169 2020-4-14 发明申请
2021-3-18
本发明提供了一种超分辨率全息显微镜,包括:光源,被配置为发射输入光; 衍射光栅,被配置为将输入光分成第一衍射光和第二衍射光; 反射第一衍射光的反射镜, 晶片台,设置在所述第二衍射光的光路上,并且晶片被配置为设置在所述晶片台上; 以及照相机,被配置为接收由镜子反射的第一衍射光和由晶片反射的第二衍射光,以产生晶片的多个全息图像。
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