| 真空连接装置及质谱仪 |
| CN202321361151.0 2023-5-31 实用新型 |
| 2023-10-17 |
| 本实用新型公开了一种真空连接装置及质谱仪，其中真空连接装置包括密封圈和用于支撑所述密封圈的保持结构，保持结构具有内支架和外支架，内支架的外周面上具有与所述密封圈配合的支撑槽，密封圈设置在支撑槽内，且所述外支架覆设在密封圈上，且外支架的内周面上具有与密封圈配合的限位防护槽；内支架和外支架的厚度小于密封圈的厚度。本实用新型利用内支架和外支架支撑和固定密封圈，在安装时可直接将本实用新型整体安装在分子泵的入口和真空腔室的连接口处，安装简单方便，降低了人为因素的影响；外支架具有与密封圈配合的限位防护槽，从外侧将密封圈包裹，防止密封圈受到来自径向的力或损伤。 |
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