| 自动断层扫描场效应离子显微镜 |
| FR19002139 2019-3-1 发明申请 |
| 2020-9-4 |
| 借助于场离子显微镜(M)对材料进行原子级成像的方法，所述场离子显微镜(M)包括真空室(CV)，所述真空室(CV)被配置为接收以尖端和图像气体的形式制备的材料， 以及离子检测器(DET)， 该方法的特征在于它包括施加直流电势(VDC)和脉冲电势，脉冲电势的最大脉冲值表示为VIMP，使得尖端以等于VDC+VIMP的电势值腐蚀； 由检测器在脉冲电势的至少两个脉冲之间获取从尖端分离的离子对检测器的影响的一系列至少两个离子图像； 基于所获取的一系列离子图像计算尖端腐蚀进程的特征值， 以及在值VDC和VIMP的每一系列图像之间的调整，使得级数的特征值和比率VDC/VIMP保持恒定。 |
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