| 即时监视程序的方法及质谱仪 |
| TW107100661 2018-1-8 发明申请 |
| 2018-9-1 |
| 本发明涉及一种实时监控过程的方法， 包括： 对监测过程中产生的气体混合物(4)进行质谱实时测量，以确定指示监测过程的实时质谱数据(25a-c)， 通过将实时质谱数据(25a-c)与由至少一种用于评估先前过程的过程后度量方法确定的度量数据相关和/或校准，和/或通过将实时质谱数据(25a-c)与至少一个极限值进行比较，来评估所监控的过程， 最好具有被监视过程的过程窗口的极限值(29)。 本发明还涉及一种用于实施该方法的质谱仪。 |
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