| 束线离子植入系统及校准感测器 |
| TW111145695 2022-11-29 发明申请 |
| 2023-10-1 |
| 公开了一种用于在束线植入系统中对带状离子束进行优化的系统及方法。所述系统包括设置在质量分析仪之后的束线中的校准感测器。校准感测器既能够测量带状离子束的总电流又能够提供关于带状离子束的垂直位置的信息。然后控制器可利用来自校准感测器的信息来调整各种参数以改善密度以及垂直位置。在一些实施例中校准感测器可包括多个法拉第感测器其中可确定离子束的总电流及垂直位置二者。此外可基于电流在高度方向上的分布来估计离子束的焦点。; ..... |
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