| 一种空间质谱计测量及校准装置 |
| CN202211671588.4 2022-12-25 发明申请 |
| 2023-4-14 |
| 本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种空间质谱计测量及校准装置，包括高压气瓶、混合腔室以及超高真空腔室，其中：高压气瓶为多个，多个高压气瓶均与混合腔室连接；超高真空腔室包括依次连接的第一超高真空腔室、第二超高真空腔室以及第三超高真空腔室；混合腔室通过微调阀与第二超高真空腔室连通，通过截止阀与第一超高真空腔室连通；第一超高真空腔室的进口设置有脉冲弹簧阀和电离电极；第二超高真空腔室的进口设置有锥形孔，第二超高真空腔室的内部设置有脉冲电极；第三超高真空腔室内部设置有离子检测器。本申请不仅可以实现单一气体平衡态的校准，还可以模拟空间复杂气体的环境，实现分子束流、离子束流的测量与校准。 |
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