| 二次离子质谱仪 |
| JP2021195242 2021-12-1 发明申请 |
| 2022-2-8 |
| 本发明的课题是通过扩大粒子检测的动态范围来提高检测精度。 “溶液”次级离子质谱仪是提供初级离子束的离子源， 收集由初级离子束从样品溅射的次级离子的次级离子提取器， 射束形成光学系统，其从所述二次离子提取器接收所述二次离子并形成二次离子束； 在焦平面上形成轨道的质谱仪， 以及多个离子检测器，其沿着焦平面可移动地设置， 每个离子检测器被配置为通过二次离子的碰撞发射电子， 第二部分被配置为通过电子碰撞发射光子， 第三部分被配置为通过光子碰撞发射电信号，并且一端被结合到第二部分中，而另一端被结合到第三部分以包括限定光子轨迹的光导。 “选择图”图2A |
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